Thickness Dependence of crack initiation and propagation in stacks for piezoelectric microelectromechanical systems

Kathleen Coleman, Raul Bermejo, Dominique Leguillon, Susan Trolier-McKinstry

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

5 Zitate (Scopus)
Originalspracheundefiniert/unbekannt
Seiten (von - bis)245-252
FachzeitschriftActa Materialia
Jahrgang191
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - Juni 2020

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