Structure, stress and stress relaxation of TiN/Cu multilayer and nanocomposite coatings

Titel in Übersetzung: Structure, stress and stress relaxation of TiN/Cu multilayer and nanocomposite coatings

Publikation: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung › Begutachtung

Titel in Übersetzung	Structure, stress and stress relaxation of TiN/Cu multilayer and nanocomposite coatings
Originalsprache	Englisch
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2007
Veranstaltung	Symposium on Reactive Sputter Deposition - Leoben, Österreich Dauer: 6 Dez. 2007 → 7 Dez. 2007

Konferenz	Symposium on Reactive Sputter Deposition
Land/Gebiet	Österreich
Ort	Leoben
Zeitraum	6/12/07 → 7/12/07

Dieses zitieren

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title = "Structure, stress and stress relaxation of TiN/Cu multilayer and nanocomposite coatings",

author = "Harald K{\"o}stenbauer and Hofer, {Anna Maria} and Gerardo Fontalvo and Christian Mitterer and Jozef Keckes",

year = "2007",

language = "English",

note = "Symposium on Reactive Sputter Deposition ; Conference date: 06-12-2007 Through 07-12-2007",

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