Structural changes in amorphous SiO2 films revealed by in-situ stress measurements up to 1000C

Stephan Bigl, Megan Cordill

Publikation: KonferenzbeitragPosterForschungBegutachtung

OriginalspracheEnglisch
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2016
VeranstaltungICMCTF International Conference on Metal Coatings and Thin Films 2016 - San Diego, USA / Vereinigte Staaten
Dauer: 25 Apr. 201629 Apr. 2016

Konferenz

KonferenzICMCTF International Conference on Metal Coatings and Thin Films 2016
Land/GebietUSA / Vereinigte Staaten
OrtSan Diego
Zeitraum25/04/1629/04/16

Dieses zitieren