Simulation von EUV-Spiegeln

Ronald Meisels

Publikation: KonferenzbeitragPosterTransfer

OriginalspracheDeutsch
PublikationsstatusVeröffentlicht - 17 Mai 2018
VeranstaltungSilicon Alps Spotlight: Neue Materialien und Materialtechnologien für Innovationen in der Mikro­elektronik - Impulszentrum Werkstoffe, Leoben, Österreich
Dauer: 17 Mai 201817 Mai 2018
https://www.silicon-alps.at/veranstaltungen/silicon-alps-spotlight-materialforschung-fuer-mikroelektronik-in-leoben/

Konferenz

KonferenzSilicon Alps Spotlight
Land/GebietÖsterreich
OrtLeoben
Zeitraum17/05/1817/05/18
Internetadresse

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