Restrictions of wafer curvature stress measurements by thermally induced plastic substrate deformation

Christian Saringer, Michael Tkadletz, Christian Mitterer

Publikation: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung › Begutachtung

OriginalspracheEnglisch
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2015
VeranstaltungE-MRS Spring Meeting 2015 - Lille, Frankreich
Dauer: 11 Mai 2015 → 15 Mai 2015

Konferenz

KonferenzE-MRS Spring Meeting 2015
Land/GebietFrankreich
OrtLille
Zeitraum11/05/15 → 15/05/15
  • 1 Konferenzteilnahme

  • E-MRS Spring Meeting 2015

    Christian Saringer (Redner/-in)

    11 Mai 2015 → 15 Mai 2015

    Aktivität: Teilnahme an oder Organisation einer Veranstaltung › Konferenzteilnahme

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