Properties of reactively sputtered W-Si-N films

J. Musil, R. Daniel, J. Soldán, P. Zeman

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Begutachtung

53 Zitate (Scopus)

Originalsprache	Englisch
Fachzeitschrift	Surface & coatings technology
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2004.12.004
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2006

Zugriff auf Dokument

TY - JOUR

T1 - Properties of reactively sputtered W-Si-N films

AU - Musil, J.

AU - Daniel, R.

AU - Soldán, J.

AU - Zeman, P.

PY - 2006

Y1 - 2006

UR - http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-32844462100&partnerID=MN8TOARS

U2 - 10.1016/j.surfcoat.2004.12.004

DO - 10.1016/j.surfcoat.2004.12.004

M3 - Article

SN - 0257-8972

JO - Surface & coatings technology

JF - Surface & coatings technology

ER -