Plasma CVD of alumina – unsolved problems

Titel in Übersetzung: Plasma CVD of alumina – unsolved problems

J. Laimer, M. Fink, Christian Mitterer, H. Störi

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

7 Zitate (Scopus)
Titel in ÜbersetzungPlasma CVD of alumina – unsolved problems
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)141-145
FachzeitschriftVacuum
Jahrgang80
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2005

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