Phase stability and decomposition products of Ti-Al-Ta-N thin films

Titel in Übersetzung: Phase stability and decomposition products of Ti-Al-Ta-N thin films

Richard Rachbauer, David Holec, Paul Heinz Mayrhofer

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Begutachtung

50 Zitate (Scopus)

Titel in Übersetzung	Phase stability and decomposition products of Ti-Al-Ta-N thin films
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	151901-1-151901-3
Fachzeitschrift	Applied physics letters
Jahrgang	97
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2010

Dieses zitieren

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journal = "Applied physics letters",

issn = "0003-6951",

publisher = "American Institute of Physics Publising LLC",

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