Nanoscale morphological and electrical homogeneity of HfO2 and ZrO2 thin films

Titel in Übersetzung: Nanoscale morphological and electrical homogeneity of HfO2 and ZrO2 thin films

Christian Teichert, Sascha Kremmer

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

45 Zitate (Scopus)
Titel in ÜbersetzungNanoscale morphological and electrical homogeneity of HfO2 and ZrO2 thin films
OriginalspracheEnglisch
FachzeitschriftJournal of applied physics
Jahrgang97
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2005

Dieses zitieren