Microstructure related stress state in magnetron sputtered thin films

Titel in Übersetzung: Microstructure related stress state in magnetron sputtered thin films

Rostislav Daniel, Klaus Martinschitz, Jozef Keckes, Christian Mitterer

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Titel in ÜbersetzungMicrostructure related stress state in magnetron sputtered thin films
OriginalspracheEnglisch
TitelProceedings E-MRS Spring Meeting
Seiten25-25
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2009

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