Microstructure, mechanical and optical properties of TiAlON coatings sputter-deposited with varying oxygen partial pressures

N. Schalk, J.F.T. Simonet Fotso, D. Holec, A. Fian, G. Jakopic, V.L. Terziyska, R. Daniel, C. Mitterer

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

6 Zitate (Scopus)
OriginalspracheEnglisch
FachzeitschriftJournal of physics / D, Applied physics
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PublikationsstatusVeröffentlicht - 2015

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