Influence of Tantalum on structure, electrical resistivity and corrosion behavior of sputtered molybdenum films

Publikation: KonferenzbeitragVortragForschungBegutachtung

OriginalspracheEnglisch
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2014
Veranstaltung41th International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films 2014 - San Diego, USA / Vereinigte Staaten
Dauer: 28 Apr. 20142 Mai 2014

Konferenz

Konferenz41th International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films 2014
KurztitelICMCTF 2014
Land/GebietUSA / Vereinigte Staaten
OrtSan Diego
Zeitraum28/04/142/05/14

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