Influence of oxygen impurities on growth morphology, structure and mechanical properties of Ti–Al–N thin films

Helmut Riedl, F. Munnik, H. Hutter, Francisca Mendez Martin, S. Kolozsvari, M. Bartosik, Paul Heinz Mayrhofer, Christian Koller, Richard Rachbauer

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

19 Zitate (Scopus)
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)39-49
Seitenumfang10
FachzeitschriftThin solid films
Jahrgang603
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2016

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