Influence of Al and Si content on structure and mechanical properties of arc evaporated Al-Cr-Si-N thin films

Titel in Übersetzung: Influence of Al and Si content on structure and mechanical properties of arc evaporated Al-Cr-Si-N thin films

Christian Tritremmel, Rostislav Daniel, M Lechthaler, P Pocik, Christian Mitterer

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

41 Zitate (Scopus)
Titel in ÜbersetzungInfluence of Al and Si content on structure and mechanical properties of arc evaporated Al-Cr-Si-N thin films
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)403-409
FachzeitschriftThin solid films
Jahrgang534
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2013

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