GISAXS experiments on Al-coated Si-Wafers with expected “hillocks”

Richard Görgl, Gerhard Dehm

Publikation: Buch/BerichtForschungsberichtTransferBegutachtung

Titel in ÜbersetzungGISAXS experiments on Al-coated Si-Wafers with expected “hillocks”
OriginalspracheDeutsch
VerlagUnknown Publisher
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2006

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