| Titel in Übersetzung | Fokussierte Ionenstrahl-Technik (FIB) in der Mikro- und Nanomechanik |
|---|---|
| Originalsprache | Deutsch |
| Titel | Handbuch der Nanoanalytik |
| Seiten | 162-163 |
| Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2005 |
Fokussierte Ionenstrahl-Technik (FIB) in der Mikro- und Nanomechanik
Christian Motz, Daniel Kiener, Thomas Schöberl, Reinhard Pippan, Gerhard Dehm
Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Konferenzband › Beitrag in Buch/Sammelband › Forschung