Effects of bias pulse frequencies on reactively sputter deposited NbOx films

Roland Lorenz, M. O`Sullivan, Alexander Fian, D. Sprenger, Bernhard Lang, Christian Mitterer

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

1 Zitat (Scopus)
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)335-342
FachzeitschriftThin solid films
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2018

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