Originalsprache | Englisch |
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Seiten (von - bis) | 335-342 |
Fachzeitschrift | Thin solid films |
DOIs | |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2018 |
Effects of bias pulse frequencies on reactively sputter deposited NbOx films
Roland Lorenz, M. O`Sullivan, Alexander Fian, D. Sprenger, Bernhard Lang, Christian Mitterer
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Zitat
(Scopus)