Effect of growth conditions on interface stability and thermophysical properties of sputtered Cu films on Si with and without WTi barrier layers

Imane Souli, Velislava Terziyska, Jozef Keckes, W. Robl, J. Zechner, Christian Mitterer

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

5 Zitate (Scopus)
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)022201-1 - 022201-11
Seitenumfang11
FachzeitschriftJournal of vacuum science & technology / B (JVST)
Jahrgang35
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2017

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