CO addition in low-pressure chemical vapour deposition of medium-temperature TiCxN1-x based hard coatings

Titel in Übersetzung: CO addition in low-pressure chemical vapour deposition of medium-temperature TiCxN1-x based hard coatings

Christoph Czettl, Christian Mitterer, U. Mühle, D Rafaja, S Puchner, H. Hutter, M. Penoy, C. Michotte, M. Kathrein

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

24 Zitate (Scopus)
Titel in ÜbersetzungCO addition in low-pressure chemical vapour deposition of medium-temperature TiCxN1-x based hard coatings
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)1691-1697
FachzeitschriftSurface & coatings technology
Jahrgang206
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2011

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